技术资料
技术资料
当前位置：首页 > 技术资料
陶瓷靶材分类
发布时间:2013-2-20 19:54:44
陶瓷靶材一般有以下几种分类
| 品名 | 化学符号 | 纯度% | 密度g/cm3 | 熔点℃ |
| 氧化铝靶 | Al2O3 | 99.9-99.99 | 3.97 | 2045 |
| 氧化铬靶 | Cr2O3 | 99.9-99.99 | 5.21 | 2435 |
| 氧化镝靶 | Dy2O3 | 99.9-99.99 | 1360 | |
| 氧化镁靶 | MgO | 99.9-99.99 | 3.58 | 2800 |
| ITO靶 | In2O3+SnO2 | 99.9-99.99 | 7.18 | 1565 |
| 氧化镧靶 | La2O3 | 99.9-99.99 | 8.84 | 2250 |
| 氧化镍靶 | NiO | 99.9-99.99 | 7.45 | 1990 |
| 一氧化硅靶 | SiO | 99.9-99.99 | 2.1 | 1702 |
| 二氧化硅 | SiO2 | 99.9-99.99 | 2.2 | 1610 |
| 二氧化锡靶 | SnO2 | 99.9-99.99 | 6.95 | 1127 |
| 二氧化钛靶 | TiO2 | 99.9-99.99 | 4.29 | 1640 |
| 二氧化锆靶 | ZrO2 | 99.9-99.99 | 5.49 | 2700 |
| 二氧化铪靶 | HfO2 | 99.9-99.99 | 9.68 | 2812 |
| 氧化锌靶 | ZnO | 99.9-99.99 | 5.61 | 1975 |
| 硒化锌靶 | ZnSe | 99.999 | 5.42 | 1526 |
| 硫化锌靶 | ZnS | 99.9-99.99 | 4.09 | 1830 |
| 三氧化钨靶 | Wo3 | 99.9-99.99 | 12.1 | 1473 |
| 五氧化二铌靶 | Nb2O5 | 99.9-99.99 | 4.47 | 1530 |
| 五氧化二钽靶 | Ta2O5 | 99.9-99.99 | 8.74 | 1800 |
| 钛酸镨靶 | PrTiO3 | 99.9-99.99 | 2200-2300 | |
| 氧化钇靶 | Y2O3 | 99.9-99.99 | 4.48 | 2680 |
| 二硼化钛靶 | TiB2 | 99.9-99.99 | 4.5 | 2980 |
| 二硼化锆靶 | ZrB2 | 99.9-99.99 | 6.08 | 3040 |
| 碳化硅靶 | SiC | 99.9-99.99 | 3.22 | 2700 |
| 碳化钛靶 | TiC | 99.9-99.99 | 4.93 | 3140 |
| 氮化硅靶 | SiN | 99.9-99.99 | 3.44 | 升华 |
| 氮化硼靶 | B4N | 99.9-99.99 | 2.5 | 2350 |
| 氮化铝靶 | AlN | 99.9-99.99 | 3.26 | 升华 |