技术资料
技术资料
当前位置：首页 > 技术资料
金属靶材分类
发布时间:2013-2-20 19:41:42
简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。有金属类、合金类、氧化物类等等。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜...铝膜等。更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。
主要有一下产品
| 品名 | 化学符号 | 纯度% | 密度g/cm3 | 熔点℃ |
| 铝靶 | Al | 99.99-99.999 | 2.7 | 660 |
| 铬靶 | Cr | 99.5-99.99 | 7.2 | 1890 |
| 钴靶 | Co | 99.9 | 8.9 | 1495 |
| 铜靶 | Cu | 99.99 | 8.92 | 1083 |
| 锗靶 | Ge | 99.999 | 5.35 | 937 |
| 金靶 | Au | 99.99 | 19.32 | 1062 |
| 铪靶 | Hf | 99.99 | 13.09 | 2230 |
| 铟靶 | In | 99.999 | 7.3 | 157 |
| 铁靶 | Fe | 99-99.99 | 7.86 | 1535 |
| 铅靶 | Pb | 99.9 | 11.34 | 328 |
| 铂靶 | Pt | 99.99 | 21.5 | 1774 |
| 钼靶 | Mo | 99.99 | 10.22 | 2617 |
| 镍靶 | Ni | 99.99 | 8.9 | 1453 |
| 铌靶 | Nb | 99.95 | 8.55 | 2468 |
| 硅靶 | Si | 99.999 | 2.42 | 1410 |
| 银靶 | Ag | 99.995 | 10.49 | 961 |
| 锡靶 | Sn | 99.99 | 7.75 | 232 |
| 钛靶 | Ti | 99.9 | 4.5 | 1675 |
| 钽靶 | Ta | 99.99 | 16.6 | 2996 |
| 钨靶 | W | 99.99 | 19.3 | 3410 |
| 锌靶 | Zn | 99.99-99.999 | 7.14 | 419 |
| 锆靶 | Zr | 99.9 | 6.4 | 1852 |
| 铈靶 | Se | 99.9 | \ | \ |
| 碳靶 | C | 99.99 | \ | \ |
| 钛铝靶 | TiAl | 99.9 | \ | \ |
| 钛铬靶 | TiCr | 99.9 | \ | \ |
| 高纯镧 | La | 99.9-99.99 | 6.145 | 921 |
| 镨靶 | Pr | 99.9-99.99 | 6.64 | 931 |
| 钆靶 | Gd | 99.9-99.99 | 7.9 | 1313 |
| 铈靶 | Ce | 99.9-99.99 | 6.76 | 799 |
| 铽靶 | Tb | 99.9-99.99 | 8.229 | 1356 |
| 钬靶 | Ho | 99.9-99.99 | 8.795 | 1474 |
| 钇靶 | Y | 99.9-99.99 | 4.47 | 1522 |
| 镱靶 | Yb | 99.9-99.99 | 6.965 | 819 |
| 铥靶 | Tm | 99.9-99.99 | 9.32 | 1545 |
| 镝靶 | Dy | 99.9-99.99 | 8.58 | 1412 |
| 镥靶 | Lu | 99.9-99.99 | 9.84 | 1633 |
| 钐靶 | Sm | 99.9-99.99 | 7.52 | 1072 |
| 铒靶 | Er | 99.9-99.99 | 9.01 | 1529 |
| 钪靶 | Sc | 99.9-99.99 | 2.989 | 1541 |